Horno de tubo Marca 1200C TMAXCN con mecanismo de viaje interno para PECVD

Personalización: Disponible
Solicitud: Industria, Colegio, Hospital, Laboratorio
personalizado: personalizado

Products Details

Información Básica.

No. de Modelo.
TMAX-1200X-S-HPCVD
Proceso de dar un título
CE, ISO
Estructura
tubular
Material
Acero inoxidable
Tipo
Horno tubular
Paquete de Transporte
embalaje de madera
Marca Comercial
tmáx
Origen
China

Descripción de Producto

TMAXCN Brand 1200c Tube Furnace with Internal Travel Mechanism for Pecvd
1200C Horno de tubos con mecanismo de desplazamiento interno para PECVD

TMAX-1200x-S-HPCVD es un horno compacto de tubo dividido de 2" con sistema de desplazamiento de muestras interno dentro del tubo de procesamiento. Esto permite el control de posición y temperatura de la plataforma de muestras o crisol a través del controlador digital de la pantalla táctil.  Está diseñado para el procesamiento térmico rápido multifuncional, como la deposición física-química híbrida (HPCVD), la evaporación térmica rápida (RTE), y  también el crecimiento Cristal Bridgman horizontal (HDC) bajo varias atmósferas para la investigación de cristales de nueva generación.

ESPECIFICACIONES:
Horno de tubo dividido
  • 208 - 240 VCA, 50/60Hz, 1,2 kW consumo de energía máx
  • Temperatura de funcionamiento: 1100°C continua y 1200°C máx.
  • Tubo de cuarzo de 2" (50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)  con bridas selladas al vacío.
  • Optioanl: Usted puede elegir horno de tubo de zona doble en Pic debajo de la derecha en coste adicional para creat gradiente térmico más alto o zona de temperatura constante más larga
          -- horno de dos zonas
Control de temperatura

 
  • Control automático PID a través de relé de estado sólido con 30 pasos programable
  • Protección contra sobretemperatura y fallo de termopar integrada
  • Precisión de +/-1°C.
  • Pareja térmica tipo K.
  •   Longitud de la zona de calefacción: 200mm ( 8")
  • Zona de temperatura constante: 60 mm  (+/-1°C a 1000 °C )
            
 Sellado al vacío
  
 
  • brida de abrazadera rápida de 2" con conexiones de 1/4'', indicador de vacío y válvula de aguja en el lado derecho
  • La brida derecha está conectada a un fuelle de acero inoxidable que se puede instalar hasta 150 mm.
  • Brida izquierda con orificio de vacío de KF25 de fijación rápida y espiga de 1/4'' válvula de ventilación  
  • Máx. Nivel de vacío: 10E-2 torr por bomba mecánica y 10-E5 por turbobomba  
    
Mecanismo de desplazamiento interno            &
Pandel de control PLC
  • Una  pareja térmica tipo K de 1/4" de diámetro x 24'' de largo se inserta a través de la brida derecha para apoyar un mini-crisol barco en la cámara. Un motor de paso puede conducir el crisol dentro del tubo desde el centro de calefacción hasta el extremo derecho del horno,  100 mm máx
  • El panel de control de la pantalla táctil permite ajustar la distancia de desplazamiento y la temperatura visualización de la posición del crisol
  • La velocidad de desplazamiento es constante a 180mm/ min. (El control de velocidad variable está disponible bajo petición y con un coste adicional)
  • Un mini-crisol de 50x20x20mm (~20ml) está instalado en una pareja térmica (click pic,3 para ver).
  • El soporte de muestra AIN o  el soporte de sustrato plano de grafito para la oblea está disponible previa solicitud, se aplicará una tarifa adicional de personalización         

 
Máx. Velocidad de calentamiento y enfriamiento La velocidad máxima de calentamiento y enfriamiento se puede lograr moviendo la muestra a la zona caliente precalentada y sacarla de la zona caliente.  La tasa de rampa/enfriamiento típica se indica en la siguiente:
 
 
 
Piezas opcionales
  • Es posible que necesite una válvula de ángulo recto y fuelle para conectar una bomba de vacío ( haga clic en las fotos 1st y 2nd para ordenar )
  • El medidor digital anticorrosivo de hasta 10E-5 torr es opcional para Aplicación de ECV (Pic 3)
  • Puede solicitar un sistema de suministro de gas multicanal para DVD o. Funcionamiento CVD ( Pic 4)
           
Dimensiones        
Garantía   Dos años de garantía limitada con soporte de por vida (Las piezas consumibles como los tubos y las juntas tóricas no están cubiertas  por la garantía)  
Ordenador portátil, software y control WiFi (opcional)
  • Nuevo portátil con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
  • El sistema de Control de temperatura basado en LabVIEW  permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos MTI.
  • Un mando a distancia inalámbrico proporciona un alcance de funcionamiento de hasta 300 metros.
  • Las características anteriores están disponibles bajo petición con un costo adicional (hasta $1.000). Por favor Contáctenos para más información.
  • Nota:  El software es compatible únicamente con el controlador de temperatura Yudian de MTI
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Cumplimiento
  • Certificación CE
  • Todos los componentes eléctricos ( >24V) Están certificados UL / MET / CSA
  • El horno está listo para pasar la    certificación TUV(UL61010) o CSA a un costo adicional.  
Advertencia


 
  • Los hornos de tubo con tubos de cuarzo están diseñados para su uso bajo vacío y baja presión < 0,2 bares / 3 psi / 0,02 MPa
  • Atención: Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 PSI para un funcionamiento seguro.
  • Definición de límite de vacío para todos los hornos de tubos de cuarzo: * las presiones de vacío solo pueden usarse de forma segura hasta 1000°C.
Notas de aplicación Este horno multifuncional es adecuado para las aplicaciones de la siguiente:
  • RTE: Crisol cargado con material de evaporación se coloca en el centro del horno, mover el portamuestras a una posición aguas abajo con la temperatura adecuada donde se produce la deposición.
  • HPCVD: Similar configuración como RTE, también introducimos gas reactante para mezclar con vapor de evaporación y hacer deposición
  • Bridgman horizontal crecimiento de cristal:  Cargue el material y la semilla en un crisol y colóquelo en el centro del horno. Mueva el crisol a la velocidad deseada para crecer un solo cristal bajo un gradiente térmico adecuado.
  • Si tiene alguna pregunta o sugerencia, póngase en contacto con nosotros antes de comprar
  • Después de ECV, el grafeno debe ser transferido del catalizador de metal a otro sustrato para la mayoría de las aplicaciones.  Usando  la cinta de transferencia de grafeno, el residuo puede ser bajo
  • Para  la cristalización direccional horizontal (HDC), puede utilizar una cubeta de gas como se muestra a continuación:
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 TMAXCN Brand 1200c Tube Furnace with Internal Travel Mechanism for Pecvd

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