Información Básica.
No. de Modelo.
CY-PE
Proceso de dar un título
CE, tuv
Estructura
Escritorio
Material
Acero
Tipo
Horno tubular
velocidad
2 - 10 rpm
coincidencia
automático
poder de reflexión
máx. 100w
frecuencia de rf
13,56 mhz
brida de sellado
acero inoxidable
tubo de procesamiento
tubo de cuarzo
garantía
un año
Paquete de Transporte
caja de madera
Especificación
diám. 50mm
Marca Comercial
cy
Origen
Zhengzhou, China
Código del HS
85141090
Capacidad de Producción
110 juegos por mes
Descripción de Producto
PE-HPCVD horno giratorio con evaporador de in-situ, 4 canales de MFC y bomba de vacío
Es un 1200C Two-Zone giratorio Plasma-Enhanced Hybrid-Physical-Chemical Vapor Deposition (PE-HPCVD) el sistema. Consta de 300 W con un ratio de RF (frecuencia) y generador de plasma, Up-Stream red coincidente con el barco de evaporación de fuente de alimentación, MFC de cuatro canales de suministro de gas de alto rendimiento y la bomba de vacío. Un sistema completo es una excelente herramienta para el tratamiento térmico de compuestos inorgánicos en polvo con una excelente temperatura y el recubrimiento de superficie de uniformidad.
Es un 1200C Two-Zone giratorio Plasma-Enhanced Hybrid-Physical-Chemical Vapor Deposition (PE-HPCVD) el sistema. Consta de 300 W con un ratio de RF (frecuencia) y generador de plasma, Up-Stream red coincidente con el barco de evaporación de fuente de alimentación, MFC de cuatro canales de suministro de gas de alto rendimiento y la bomba de vacío. Un sistema completo es una excelente herramienta para el tratamiento térmico de compuestos inorgánicos en polvo con una excelente temperatura y el recubrimiento de superficie de uniformidad.
| La estructura del sistema | Integrado de 300 W (13.56Mhz) RF fuente de alimentación con la correspondiente red permite que el plasma de procesamiento mejorado que reduce significativamente tprocessing temperatura. Rotación del tubo por engranajes permite el "blending" tipo de procesamiento para polvos para lograr el mejor tratamiento de uniformidad. Canal cuatro de la estación de mezcla de gases con MFCs proporcionar un control preciso de la entrega de gas. La integración de la fuente Up-Stream evaporación barco con bobina de tungsteno permite sublimar precursores sólidos para las necesidades de los híbridos de procesamiento físico-químicas. |
| Horno rotativo Two-Zone | Temperatura de trabajo: 1100ºC Max(<1hrs), y 1000ºC para calefacción continua. Dos controladores de temperatura PID con 30 segmentos programable. Potencia de entrada: 208 - 240 VCA monofásica en máx. 1,5 KW. Alúmina de gran pureza fibrosa en aislamiento durante un máximo de ahorro de energía. Marcha de unidades de motor CC tubo de cuarzo con velocidad variable de 2 a 10 RPM. Dos zonas: la longitud de cada zona 4" (100 mm), el total de 8" (200 mm) de la zona de calentamiento. |
| Suministro de energía de RF de plasma | La potencia de salida: 5 -300 W ajustable con ± 5% de la estabilidad. Frecuencia de RF: 13,56 MHz ±0,005% de la estabilidad. La reflexión de alimentación: 100W máx. Coincidencia: Automático. Alimentación: 208-240VCA monofásica, 50Hz. |
| Barco de evaporación | Temperatura de trabajo: 1100ºC Max(<1hrs), y 1000ºC para calefacción continua (1500ºC con la cámara del horno calentado a 800ºC) La alúmina 0.7ml crisol de tungsteno con bobina de calentamiento rodeado. Termopar tipo K insertado para la medición precisa de la temperatura del material de origen. Corriente de trabajo: <= 30 A. |
| Las bridas de sellado | Estándar: 2'' O.D cuarzo tubo procesamiento Un par de 1'' de la brida de sellado de SS conector gas giratorio con válvulas de aguja y se incluyen para su uso inmediato. |
| Las bridas de sellado | Un par de 1'' de desconexión rápida O.D brida con KF25 puerto están instalados en cada extremo del tubo. Fluido magnético giratorio de la junta el acoplamiento se utiliza para activar la rotación del tubo sin doblar el foreline posterior o archivos adjuntos (como el gas, polvo y las líneas de suministro eléctrico). |
| La velocidad de rotación del tubo | 0 - 5 RPM variable. |
| La bomba de vacío y manómetro | EQ-FYP Bomba de vacío de doble etapa de alto rendimiento incluido KF25 adaptador y el fuelle de acero inoxidable están conectados entre bomba y el tubo de brida. 10E-2 Torr vacío puede conseguirse en el interior del tubo de procesamiento. |
La estación de mezcla de gases de MFC | Flujo de masa de precisión de cuatro metros (0,02% de precisión) con pantallas digitales están instalados en la parte inferior para el control de caudal de gas de forma automática. MFC 1: flujo de gas oscilan entre 0~100 SCCM MFC 2&3: Control oscilan entre 0~200 SCCM 4: Control de MFC oscilan entre 0~500 SCCM Entrada de gas/conexiones de salida: 6mm O.D tubo Alimentación: 208-240VAC, 50/60 Hz Válvulas de aguja de acero inoxidable para la activación/desactivación manual control de suministro de gas. Gran pantalla táctil de control PLC permiten una fácil configuración de la tasa de flujo |
El control de temperatura | Zona de calentamiento de dos diseño con el controlador de temperatura individual. Control PID precisa de la calefacción, refrigeración tasa y el tiempo de permanencia, programables de 30 segmentos. Construido en el sobrecalentamiento y termopar roto la protección. Protección de exceso de temperatura y alarma permite la operación sin la correspondiente(s). +/- 1 ºC precisión de temperatura. Tres termocuplas tipo K (uno para cada zona). Puerto de comunicaciones RS485. |
| La garantía | Un año de garantía limitada con el apoyo de por vida |
