Información Básica.
Descripción de Producto
Este producto es un 1200ºC híBrido mejorado plasma de deposicióN de vapor quíMico fíSica (HPCVD) de doble zona de calentamiento del sistema de horno de tubo giratorio.El equipo incluye un doble tubo de la zona de calentamiento de horno, un conjunto de la evaporacióN del filamento de tungsteno de origen, un juego de generador de plasma y un conjunto de la masa del sistema de caudalíMetro.Su principio de funcionamiento consiste en evaporar el reactivo en el extremo de entrada de gas a travéS de la fuente de evaporacióN y cargarlo en la zona de calefaccióN del tubo a travéS del horno el flujo de aire para llevar a cabo la reaccióN de las ECV.Al mismo tiempo, la reaccióN es promovido por el plasma mejora.Es adecuado para el tratamiento téRmico de compuestos inorgáNicos en polvo y la uniformidad de la capa de superficie (por ejemplo, la preparacióN de polvos de cáTodos de bateríA de iones de litio con revestimientos de conductora en la superficie de la muestra).
ParáMetros téCnicos:
| Zona de calentamiento de dos hornos de tubo | El modelo del producto | CY-O1200-50IIT | |
| Material del tubo de horno | De cuarzo de alta pureza | ||
| DiáMetro del tubo | 50mm | ||
| Longitud del tubo de horno | 1200mm | ||
| La longitud de la cáMara del horno | 440mm | ||
| Longitud de la zona de calentamiento | 200mm+200 mm | ||
| La temperatura de funcionamiento | 0~1100°C. | ||
| La precisióN de control de temperatura | ±1°C. | ||
| El modo de control de temperatura | 30 o 50 programa de segmento de control de temperatura | ||
| Modo de pantalla | HD de pantalla LCD táCtil a color | ||
| MéTodo de sellado | Acero inoxidable 304 de la brida de vacíO | ||
| Fuente de alimentacióN | AC:220V 50/60 Hz 2.5kw | ||
| Sistema de salida de RF | Rango de potencia | 0~500W regulable | |
| Frecuencia de trabajo | 13.56MHz+0.005% | ||
| Modo de trabajo | Salida continua | ||
| Modo de impedancia coincidentes | Puede ser igualado, y el resplandor se distribuye uniformemente a lo largo del tubo de horno | ||
| La estabilidad de potencia | ≤2W. | ||
| Potencia reflejada normal de trabajo | ≤3W | ||
| AmplificacióN de potencia reflejada | ≤70W | ||
| Los componentes armóNicos | ≤-50 dBc | ||
| La eficiencia general | ≥70% | ||
| Factor de potencia | ≥90% | ||
| La tensióN de alimentacióN/frecuencia | Una sola fase AC (187V~153V) la frecuencia de 50/60 Hz | ||
| Modo de control | El control interno/PLC Cantidad analóGica/RS232/485 comunicacióN | ||
| La configuracióN de proteccióN de la alimentacióN | DC proteccióN contra sobrecorriente, amplificador de potencia a travéS de la proteccióN de la temperatura, proteccióN de la potencia reflejada | ||
| MéTodo de refrigeracióN | RefrigeracióN de aire forzado | ||
| Zona de resplandor | En virtud de Ar, la frecuencia de radio la fuente de alimentacióN y la bobina cooperar con el resplandor para llenar el tubo de horno | ||
| Barco de evaporacióN | La temperatura de trabajo | 1300ºC. | |
| Fuente de evaporacióN | Cesta de alambre de tungsteno, crisol de alúMina cóNicos opcional | ||
| El termopar | Termopar de tipo S | ||
| Corriente de trabajo | ≤30A | ||
| Potencia máX. | 500W | ||
| El sistema de suministro de gas | El caudalíMetro | CaudalíMetro de masa de cuatro canales | |
| Rango de caudal | MFC1 Rango:0~200sccm MFC2 Rango:0~200SCCM MFC3 Rango:0~500sccm MFC4 Rango:0~500SCCM Correspondiente a los gases H2, CH4, N2, Ar. | ||
| PrecisióN de medicióN | De ±1,5%F.S | ||
| Repetibilidad. | ±0,2% FS | ||
| La precisióN lineal | ±1%F.S. | ||
| El tiempo de respuesta | ≤4s | ||
| La presióN de trabajo | -0.15Mpa~0,15 Mpa | ||
| El control de flujo | Control de la pantalla táCtil LCD de pantalla digital, cada canal gas contiene la váLvula de aguja para controlar individualmente. | ||
| La interfaz de admisióN | Puede ser conectado con 1/4NPS o 6mm de diáMetro exterior del tubo de acero inoxidable | ||
| La interfaz de salida | Puede ser conectado con 1/4NPS o 6mm de diáMetro exterior del tubo de acero inoxidable | ||
| El méTodo de conexióN | Doble conector de la féRula | ||
| La temperatura de funcionamiento | 5~45°C. | ||
| El gas premix | Equipado con dispositivo premixing gas | ||
| El sistema de escape | El modelo del producto | CY-GZK103-A. | |
| Bomba Molecular | Bomba Turbomolecular | ||
| Bomba de refuerzo | Dos etapas de la bomba de paletas giratorias | ||
| La tasa de bombeo | Bomba molecular:600L/S | Bombeo global del rendimiento:30 minutos puede llegar vacíO:5×10E-3Pa | |
| Bomba de paletas giratorias:1.1L/seg. | |||
| VacíO final | 5×10E-4Pa | ||
| Puerto de bombeo | KF40 | ||
| Interface escape | KF16 | ||
| MedicióN de vacíO | El compuesto indicador de vacíO. | ||
Fundada en 2005, Zhengzhou CY instrumento cientíFico Co., Ltd.Es una empresa especializada en el desarrollo y produccióN de tecnologíA de laboratorio equipo de investigacióN.Los productos se mezclan, presionado, quemados, cortados, suelo, pulido, recubierto, equipo de anáLisis y los consumibles.Los productos incluyen equipos de la sinterizacióN de laboratorio, equipo de recubrimiento y asíSucesivamente.En la actualidad, se ha exportado a 25 paíSes y regiones como Estados Unidos, Europa, y el sudeste de Asia, y ha sido bien recibido por varias unidades de investigacióN cientíFica.
Disponemos de una tecnologíA madura la investigacióN y el equipo de desarrollo, el núMero de téCnicos es de 33, la compañíA dispone de 150 personas, máS de 500 metros cuadrados de espacio de oficina, fáBrica cubre un áRea de aproximadamente 1.500 metros cuadrados ubicado en Zhengzhou Alta TecnologíA ElectróNica de la zona Parque Industrial.Los productos se encuentran principalmente en la investigacióN de mercado, sirviendo a la investigacióN cientíFica en los laboratorios de universidades y colegios, y tambiéN pueden personalizar los productos de acuerdo a sus necesidades.
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MáS preguntas, póNgase en contacto con el servicio al cliente