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Información Básica.
Descripción de Producto
Máquina de plasma de laboratorio para la preparación de sulfuro (PECVD)
1. El sistema PECVD viene con un generador de plasma, un horno de tubo de triple zona de calefacción, un horno de tubo de una sola zona de calefacción, un
Fuente de alimentación de RF y sistema de vacío.
2.el dispositivo de preparación de la película de grafeno PECVD ioniza un gas que contiene Un átomo constituyente de película por medio de una salida de RF de 13,56
MHz, forma un plasma en una cámara de vacío, utiliza una fuerte actividad química del plasma, mejora las condiciones de reacción, y.
utiliza la actividad del plasma para promover la reacción, luego deposita una película deseada en el sustrato.
3. Este sistema PECVD puede usarse en la preparación de grafeno, la preparación de sulfuro y la preparación de material nanómetro. Varios
Películas como SiOx, SiNx, silicio amorfo, silicio microcristalino, nano-silicio, SIC, como un diamante, etc. pueden depositarse en
también se puede depositar la superficie de una hoja o muestra de forma similar, y películas dopadas de tipo p y tipo n. La película depositada
tiene buena uniformidad, compacidad, adhesión y aislamiento. Se utiliza ampliamente en los campos de las fresas, moldes de alta precisión, duro
revestimientos, decoración de alta calidad, etc.
Especificaciones del sistema PECVD
| Dos zonas de calefacción horno de tubo | Modelo de producto | TN-PE-HPCVD-50R-1100-Q | |
| Material del tubo del horno | Cuarzo de alta pureza | ||
| Diámetro del tubo | 50mm | ||
| Longitud del tubo del horno | 1200mm | ||
| Longitud de la cámara del horno | 440mm | ||
| Longitud de la zona de calefacción | 200mm+200mm | ||
| Temperatura de funcionamiento | 0~1100ºC. | ||
| Precisión de control de temperatura | ±1ºC. | ||
| Modo de control de temperatura | control de temperatura de programa de 30 o 50 segmentos | ||
| Modo de visualización | Pantalla táctil LCD HD a todo color | ||
| Método de sellado | brida de vacío de acero inoxidable 304 | ||
| Fuente de alimentación | AC: 220V 50/60Hz 2,5kw | ||
| Sistema de salida RF | Rango de potencia | 0~500W ajustable | |
| frecuencia de trabajo | 13,56MHz+0,005% | ||
| Modo de trabajo | Salida continua | ||
| Modo de impedancia coincidente | Puede ser igualado, y el resplandor se distribuye uniformemente a través del tubo del horno | ||
| Estabilidad de potencia | ≤2W | ||
| Potencia reflejada de funcionamiento normal | ≤3W | ||
| Potencia reflejada amplificada | ≤70W | ||
| Componente armónico | ≤-50dBc | ||
| Eficiencia general | ≥70% | ||
| Factor de potencia | ≥90% | ||
| Tensión/frecuencia de alimentación | CA monofásica (187V~153V) frecuencia 50/60Hz | ||
| Modo de control | Control interno/cantidad analógica PLC/485/RS232 comunicación | ||
| Configuración de protección de energía | Protección contra sobrecorriente dc, protección contra sobretemperatura del amplificador de potencia, protección de potencia reflejada | ||
| Método de enfriamiento | Refrigeración forzada por aire | ||
| Zona de brillo | Bajo Ar, la fuente de energía de radiofrecuencia y la bobina cooperan con el resplandor para llenar el tubo del horno | ||
| Barco de evaporación | Temperatura de trabajo | 1300ºC. | |
| Fuente de evaporación | Cesta de alambre de tungsteno, crisol de alúmina cónico opcional | ||
| Termopar | Termopar tipo S | ||
| Corriente de trabajo | ≤30A | ||
| Potencia máx | 500W | ||
| Sistema de suministro de gas | Caudalímetro | Caudalímetro de masa de cuatro canales | |
| Rango de flujo | MFC1 rango: 0~200sccm MFC2 rango: 0~200sccm MFC3 rango: 0~500sccm MFC4 rango: 0~500sccm Correspondiente a los gases H2, CH4, N2, Ar. | ||
| Precisión de medición | ±1,5% F.S | ||
| Repetibilidad | ±0,2% FS | ||
| Precisión lineal | ±1% F.S. | ||
| Tiempo de respuesta | ≤4s | ||
| Presión de trabajo | -0,15Mpa~0,15Mpa | ||
| Control de flujo | Control de pantalla táctil LCD, pantalla digital, cada canal de gas contiene válvula de aguja para control individual. | ||
| Interfaz de admisión | Puede conectarse con un diámetro exterior de 1/4NPS o 6mm tubo de acero inoxidable | ||
| Interfaz de salida | Puede conectarse con un diámetro exterior de 1/4NPS o 6mm tubo de acero inoxidable | ||
| Método de conexión | Conector de casquillo doble | ||
| Temperatura de funcionamiento | 5~45ºC. | ||
| Premezcla de gas | Equipado con dispositivo de premezcla de gas | ||
| Sistema de escape | Modelo de producto | TN-GZK103-A. | |
| Bomba molecular | Bomba turbomolecular | ||
| Bomba de respaldo | Bomba de paletas rotativas de dos etapas | ||
| Velocidad de bombeo | Bomba molecular: 600L/S | Rendimiento de bombeo integral: 30 minutos de vacío puede alcanzar: 5×10E-3PA | |
| Bomba de paletas rotativas: 1,1L/S. | |||
| Vacío final | 5×10E-4PA | ||
| Puerto de bombeo | KF40 | ||
| Interfaz de escape | KF16 | ||
| Medición de vacío | Indicador de vacío compuesto | ||
1. Tenemos máquina CVD/PECVD con sistema de suministro de gas+sistema de vacío+horno de tubo + generador de plasma.
2. Horno de tubo (temperatura) :1200C, 1400C, 1600C, la temperatura personalizada es disponible.
3 . Horno de tubo (zona de calefacción) :zona única, zona doble, zona triple, personalizada no de zona de calefacción disponible.
4. Material del tubo: cuarzo, corindón, aleación y otro material del tubo es personalizable.
5. Tubo con diferentes diámetros y longitudes es personalizable.
100W. Generador de plasma: 150W, 300W, 500W, 1000W, 6, y otra potencia del generador de plasma es personalizable.
7. Flujómetro: 1~3 o flujómetro multicanal es opcional en función de su proceso.
Zhengzhou Tainuo Film Materials Co., Ltd. Es una empresa integral que integra diseño, investigación y desarrollo, producción y ventas.
Los principales productos de nuestra empresa son: Espumador, coater de evaporación térmica, coater de espumador de magnetrón, coater de espumador de plasma, coater de evaporación de haz electrónico, Máquina de recubrimiento láser de impulsos PLD, limpiador de plasma, sistema CVD, sistema PECVD, máquina de corte de hilo de diamante, horno de fusión/estufa, horno de fusión de arco, etc.
Nuestros productos se utilizan ampliamente en el campo de la investigación científica de materiales. Tenemos una amplia cooperación con universidades nacionales, laboratorios y nuevas empresas de materiales. Ha sido exportado con éxito a más de 20 países y regiones, incluyendo los Estados Unidos, el Reino Unido, Alemania, Rusia, Suiza, Canadá, Brasil, etc. y han establecido relaciones de cooperación a largo plazo con los comerciantes locales.
Si usted está realizando investigación de materiales, por favor Contáctenos y le proporcionaremos servicios personalizados para hacer sus experimentos de investigación más suaves! 
Podemos enviar la CVD, máquina PECVD por mar, por aire, por tierra y por expreso, también podemos organizar el envío de acuerdo a sus necesidades. 
P. ¿es usted fabricante o empresa comercial?
R. Somos fabricantes profesionales de instrumentos de laboratorio, contamos con un equipo de I+D y un taller profesionales, que pueden prometer la calidad y el servicio de posventa.
P. ¿Cómo está su garantía?
R. nuestra garantía es de 12 meses, y proporciona mantenimiento de por vida. Ofrecemos servicio en línea las 24 horas.
P. ¿Cuánto tiempo dura su entrega? Si quiero personalizar el instrumento, ¿cuánto tiempo tarda?
A. 5-10 días---- en la tienda. Productos personalizados------ usualmente toma 30-60 días dependiendo de tus necesidades.
P. ¿Alimentación y enchufe?
R. podemos proporcionar productos que se accule a su voltaje local y estándar de enchufe.
P. ¿Cómo pagar?
A. T T, L / C, D / P, ETC.
P. ¿Cómo está el paquete de mercancías? ¿métodos de entrega?
A. fumigación estándar de exportación firme embalaje de cajas de madera o como sus requisitos.
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